1962年美国联合碳化物公司(UCC)发现了分子筛对气体的选择性特性,并在实验设备上实现了对少数不同气体的分离,随即研制成功了世界上第一台制氢工业装置。随着分子筛材料与工艺的不断提升,七十年代中期美国和德国首先将PSA技术应用于空气分离并在化工领域得到应用, 到八十年代中期化学工业的发展为分子筛性能的提高起到了关键作用,使设备小型化成为可能。1985年美国的Praxair公司研制的第一台小型制氧机的问世标志着PSA技术小型化的开始。九十年代初产品意义上的医用制氧机开始出现,美国材料实验学会(ASTM)于1993年颁 1布了医用制氧机标准规范(F1464-1993),国际标准组织于1996年发布了医用制氧机的安全性标准(ISO8359:1996)。从此,医用分子筛制氧机在国外医院得到广泛应用。

随着医用分子筛制氧机在国内的引进出现, 为了规范医用分子筛制氧机在我国医院的应用, 国家药品管理局于1998年4月8日颁布了《YY/T0298—1998医用分子筛制氧设备通用技术规范》,规范中明确规定医用分子筛制氧设备的氧含量≥90%(mL/m1),并于2012年国家药品管理局又颁布了WS1-XG-008-2012《富氧空气(93%氧)质量标准》，氧含量90.0%～96.0% (mL/m1)，之后国家住房和城乡建设部和国家质量监督检验检疫总局在2012年3月30日联合发布了国家标准GB50751-2012《医用气体工程技术规范》，此国家标准再次对医用分子筛制氧机的定义，并允许各类医疗机构使用。